挑选好的行星减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。
针对精密减速机的结构特色和齿轮的载荷性质，应该广泛选用硬齿面齿轮。取得硬齿面齿轮热处理办法有许多。如外表淬火、整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据齿轮减速机的特色选定。
1.外表淬火
常见的外表淬火办法有高频淬火（对小尺度齿轮）和火焰淬火（对大尺度齿轮）两种。外表淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果最好。齿面硬度可达45-55HRC.
2.渗氮
?
选用渗氮可保证齿轮在变形最小的条件下，达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行最好的精加工，提高了承载才能。
3.渗碳淬火
渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载才能，但必须选用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的分数为0.2%-0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58-62HRC范围内，若低于57HRC时，硬面强度显著下降，高于62HR则脆性添加。渗碳淬火齿轮的硬度，从齿轮外表至深层逐步下降，而有效渗碳深度规定为外表至硬度5.25HRC处的深度。
渗碳淬火在齿轮弯曲疲劳强度方面的效果除使心部硬度有所提高外，还在于外表的残余压应力。它可使最大压应力区的应力减小，因而磨齿时不能磨齿根部分
1.外表淬火
常见的外表淬火办法有高频淬火（对小尺度齿轮）和火焰淬火（对大尺度齿轮）两种。外表淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果最好。齿面硬度可达45-55HRC.
2.渗氮
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选用渗氮可保证齿轮在变形最小的条件下，达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行最好的精加工，提高了承载才能。
3.渗碳淬火
渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载才能，但必须选用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的分数为0.2%-0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58-62HRC范围内，若低于57HRC时，硬面强度显著下降，高于62HR则脆性添加。渗碳淬火齿轮的硬度，从齿轮外表至深层逐步下降，而有效渗碳深度规定为外表至硬度5.25HRC处的深度。
渗碳淬火在齿轮弯曲疲劳强度方面的效果除使心部硬度有所提高外，还在于外表的残余压应力。它可使最大压应力区的应力减小，因而磨齿时不能磨齿根部分